美国西部电气公司洁净室的一些做法
P.W.Morrison,黄涌
摘要(Abstract):
<正> 洁净室根据其工作区内气流的控制方式分成乱流型和层流型两种。也可以根据实际操作中能够维持的洁净度分类。洁净室要求采用与洁净度相适应的设备、材料、房屋清扫程序以及工作人员操作方法。不论其气流设计型式或洁净度等级如何,洁净室一般都由图1所示各部分组成。循环风机使主要送风进入和通过洁净室、初过滤器和末级过滤器。空气处理装置供给所需要的冷量和热量。补风系统的风机为洁净室加压,并补充
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作者(Author): P.W.Morrison,黄涌